與旋渦氣泵一樣特殊的還有無油真空泵，這種設備在運轉過程中是不需要油液作為工作介質的，而且能始終保持真空狀態(tài)。那無油真空泵的內部結構以及它的動作原理，大家又了解多少呢？

觀察其結構，發(fā)現無油真空泵的缸體和側端蓋所圍的空間內、轉子對缸體是偏心安裝的，同時與缸體間保持這一定的間隙。另外，還要轉子表面的槽里安裝了數枚滑片，當轉子內的滑片受到離心力的作用，會與缸體壁處于接觸狀態(tài)。
當無油真空泵出于運行狀態(tài)的時候，由滑片、轉子、缸體以及側端蓋所圍的空間會隨轉子的回轉而不斷變化，主要是容積逐漸變大，使得氣體被吸入。而當回轉時容積逐漸變小的時候，吸入的氣體又會被壓縮而排出。由于這個過程是連續(xù)進行的，因此空氣一直處于吸入、排出的狀態(tài)，從而完成工作任務。